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    Accexp 显微镜LED曝光系统

    产品简介:

    ◎ Accexp 显微镜LED曝光系统是不需要使用光罩就可以完成光刻的 Pattern 投影式光刻设备。 ◎ 使用金属显微镜和 LED 光源 DLP 投影仪、即可把解像度数 m 的任意 Pattern 投影在涂布光阻的基板上,进行光刻。 ◎ Pattern 可以透过专有软件自由编辑,并且将制作完成的图...

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    详细介绍
    ◎ Accexp 显微镜LED曝光系统是不需要使用光罩就可以完成光刻的 Pattern 投影式光刻设备。
    ◎ 使用金属显微镜和 LED 光源 DLP 投影仪、即可把解像度数 μm 的任意 Pattern 投影在涂布光阻的基板上,进行光刻。
    ◎ Pattern 可以透过专有软件自由编辑,并且将制作完成的图形进行保存。
    ◎ 将多种大小,形状以及层状在大气环境下形成电极在单晶薄膜上,比起电子束曝光机价格来的便宜,方便性高.使用时也不需要制作Pattern Mask。
     
    显微镜LED曝光系统

    Accexp 显微镜LED曝光系统


    Accexp 显微镜LED曝光系统用途

    • 薄膜 FET 以及 Hole 效果量测用试料的电极形成
    • 从石墨烯・钼矿石取出薄片,进行矿石特性评价的电极形成
    • 面向研究开发方向的模式形成 


    Accexp 显微镜LED曝光系统特点

    • 因为是显微镜和 DLP 的组合,所以會比目前市場銷售的其他曝光系统便宜
    • 用对物镜头的倍率,可以从微细模式到广范围的一次全部曝光
    • 可安装在所有的显微镜上(根据显微镜的规格要求)
    • 可制作解像度 μm等级的形状
    • 光刻范围:物镜 5X:约 1.85mm×1.15mm
    • 物镜 100X:约 90μm×60μm 
    ※曝光范围为参考值


    如果您对Accexp 显微镜LED曝光系统有兴趣,欢迎致电长沙艾克赛普仪器设备有限公司:0731-84284278,我们的工程师将为你提供最佳的测试方案。Accexp是一家专注于仪器工控设备、测试方案系统集成的科技企业。作为专业的仪器仪表公司及测控集成ATE提供商,多年来坚持自主研发创新,结合引进代理各大知名品牌的优质仪器设备,致力于提供更科学智能的软硬件测试方案。 

     


    关键词: 显微镜
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